方案中的新风机组(mau)有五大任务：
(1)新风机组要有维持洁净室内的正压和补充工艺设备排风的足够新鲜空气量，以防止外面污染空气的渗入。一般情况新风量应该等于洁净室的排风量加上维持室内正压的渗漏风量之和。
(2)新风机组要能确保洁净室内严格要求的相对湿度。因此夏季新风机组要有足够的降温去湿能力，在冬季还要求一定的加湿手段。
(3)新风机组内要设置多级过滤器(粗效、中效、过滤器)以保护ffu终端的超过滤器。
(4)新风机组要能吸收和吸附室外大气内中的有害气体成份，以消除新风中的分子污染。为此，新风机组内还应设置淋水室以吸收n、s、等有害的元素。淋水室有一级淋水和两级淋水(一级淋自来水、二级淋纯净水)，同时还要设置化学过滤器(活性炭过滤器)用以吸附新风中的有害分子成份。
(5)在黄河以北，尤其是我国的东北地区，在冬季室外空气温度在零下十几度或几十度。因此，新风机组在北方需要考虑防冻预热的措施。
·方案中的风机过滤器机组(ffu)就是保证洁净室内高级别的洁净度。ffu中的过滤器根据洁净度的要求，可采用过滤器(h14)或超过滤器(u15、u16、u17)。
对ffu性能的要求：
(1)ffu出风的断面风速v≥o．45 m／s；断面风速的均匀度应为士15％。
(2)ffu的机外余压应≥120 pa。
(3)ffu的机外噪声应≤50 db(a)。
(4)ffu的风机寿命应为5000～8000小时。
·方案中的干冷盘管(dc)是保证洁净室内各区域的温度及其精度的重要设备。
对干盘管(dc)的要求：
l、空气通过干盘管的阻力<40 pa；因此通过干盘管的风速应≤2 m／s。
2、通过干盘管的水初温应比洁净室内空气温度高1℃～2℃。
3、干盘管设置时可竖放或斜放，但不可水平设置。
4、干盘管下部还应设置不锈钢的滴水盘和排水系统。
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